|
|
|
| Project publications: | |
|---|---|
|
|
| Project title: | Multilayer silicon nanocapacitor with improved dielectric layers |
| Project short title: | - |
| Number of project implementation agreement: | 1.1.1.1/16/A/203 |
| Registration number: | 2601/2017 |
| Department: | Institute of Biomedical Engineering and Nanotechnologies |
| Administrating department: | Project Implementation and Coordination Unit |
| Finance fund: | ERAF, 1.1.1.1. “Praktiskas ievirzes pētījumi” |
| Project RTU role: | leading partner |
| Status: | Ended |
| Project start date: | 01.03.2017. |
| Project end date: | 29.02.2020. |
| Title of grant issuer: | Centrālā finanšu un līguma aģentūra |
| General manager: | Jurijs Dehtjars |
| Administrative manager: | Guna Čivčiša |
| Total finance: | |
| Projekta kopējais finansējums ir 648 605,05 EUR, tai skaitā 551 314.29 EUR ERAF finansējums un 48 645,38 EUR valsts budžeta finansējums | |
| Summary: | |
|
NC ražošanas tirgus strauji attīstās un uzturēs savu attīstības tempu vismaz nākamus 10 gadus [1]. Pieaug pieprasījums pēc termiski stabiliem [1] un noturīgiem pret starojumu NC. NC izgatavošanai plaši izmanto uz silīcija balstītas tehnoloģijas. Latvijas ražotāju ienākšana NC ražošanas tirgū var palielināt Latvijas ekonomikas apgrozījumu par vismaz 0.23-10 MEUR katras 3-4 nedēļas. NC dielektrisko slāni visbiežāk iegūst, saliekot kopā vairākus Si3N4 (N) nanoslāņus, un ieskauj tos no abām pusēm ar SiO2 (O), iegūstot ON…NO struktūru. N…N slāņus iegūst vairākos tehnoloģiskos reaktoros. NC ražošanas izmaksas var samazināt, iegūstot N…N slāņus vienā reaktorā. |
|
| Activities: | |
| Tiks veikts rūpniecisks pētījums ar darbībām: 1) NC un ON…NO paraugu izgatavošana ar vienā reaktorā sintezētiem N…N slāņiem; 2) N…N, ON…NO un NC īpašību raksturošana, t.sk. pēc apstarošanas un karsēšanas; 3) NC ar N…N slāņiem izgatavošanas tehnoloģijas prototipa veidošana laboratorijas vidē. | |
| Partners: | |
|
|
| Project first publicity: | Download |
| Project published on RTU website: | 10.03.2017. |